为了不让人起疑她还 “故意” 在原型设计中留了个小漏洞。
初期陶瓷驱动电压不稳定后来 “和团队一起” 调整了电压反馈电路才解决。
当晶圆台高速运转时激光干涉仪显示振动值稳定在 0.03nm吴教授拍着她的肩膀感叹:“小白你这思路比我们钻了五年牛角尖的还通透!” 最后一个 “光刻胶分辨率” 难题是最棘手的。
传统光刻胶曝光后容易收缩3nm 电路总出现毛边。
白梦瑶想到星际光刻胶里的 “纳米晶须”却换成了 L 国已有的 “碳纳米管”。
她提出:“在光刻胶里加表面改性的碳纳米管能提升刚性减少收缩。
” 但碳纳米管容易团聚她又 “借鉴” 星际材料处理工艺提出 “等离子体接枝改性。
” 接着她又提议:“用氧等离子体处理碳纳米管表面增加和树脂的相容性。
” 经过三十多次配方调整新型光刻胶终于成功3nm 电路图案清晰良品率从 10% 飙升到 88%。
当团队用改进后的光刻机在晶圆上刻出完整的 3nm 芯片电路时距离白梦瑶加入课题刚满七个月。
吴教授拿着检测报告在团队会议上反复说:“白梦瑶总能从我们忽略的角度找到突破口这就是年轻科研者的创造力!” 没人会怀疑她毕竟她的每一个方案都能找到现有文献的理论支撑。
每一次调试都 “和团队一起” 解决问题看起来就像个 “天赋异禀、善于思考” 的普通学霸。
转眼读研已经过去了一年白梦瑶的研究生生涯已过半她和吴教授团队研发的 3nm 光刻机技术早已成功落地投产。
L 国多家芯片企业用上了这项技术彻底摆脱了对国外高端光刻机的依赖相关成果还入选了年度 “国家重大科技突破”。
3nm 光刻机研发成功的消息传到首都国防科技大学时白蒹正在实验室调试新型雷达信号处理系统。
作为电子信息专业的尖子生他不仅学业拔尖还参与了学校与军工企业合作的 “智能通信终端” 项目。
这个项目需要一款超高精度的芯片用来提升终端的信号传输效率可市面上的芯片始终达不到要求。
“要是能有更精密的芯片就好了。
” 白蒹对着屏幕上的信号波形叹气时突然想起妹妹白梦瑶刚突破的 3nm 光刻技术眼睛瞬间亮了。
妹妹研发的技术说不定能解决芯片精度问题!他当即拿起手机给白梦瑶打了个视频电话。
屏幕那头白梦瑶刚结束实验室的复盘会议脸上还带着些许疲惫一看到哥哥的脸就笑了:“哥怎么突然打电话?是不是想妈妈做的菜了?” “菜当然想但这次有正事找你。
” 白蒹把项目困境跟妹妹说明“我们项目需要 3nm 级别的专用芯片你团队研发的光刻机能不能支持这种定制芯片的生产?要是可以我们说不定能促成学校和你们团队的合作。
” 白梦瑶一听也来了兴趣国防科大的项目涉及军工应用对技术要求极高刚好能检验 3nm 光刻机的实战性能。
“我得跟吴教授商量下但初步看没问题。
对了你们项目负责芯片对接的是谁呀?” “是我们系的苏喆衍学长他比我高一届现在是项目核心成员不光精通芯片设计还在量子通信领域拿过国家奖项特别厉害。
” 白蒹提起苏喆衍满是敬佩。
他接着说:“要是合作成了我介绍你们认识你们俩都是搞高精尖技术的肯定有共同话题。
” 一周后合作意向正式敲定。
白梦瑶跟着吴教授去国防科大开会白蒹特意等白梦瑶出来后带她去国防科大的科研楼到那里的时候走廊尽头的实验室里苏喆衍正对着投影屏上的芯片电路图皱眉。
屏幕上标注的 “2.8nm 线宽误差” 红线始终卡在合格线边缘。
听到脚步声他回头看来眼神专注却不锐利带着科研人特有的温和。
“喆衍学长这是我妹妹白梦瑶3nm 光刻机研发的核心成员。
” 白蒹快步上前自然地打破沉默“梦瑶这位就是我们项目负责芯片设计的苏喆衍学长他设计的量子通信芯片去年还拿了军队科技进步奖。
” 长相英俊的苏喆衍站起来居然有1.8米的身高他朝着白梦瑶伸出手掌心干燥温暖两人象征性地握了一下手。
就递来的芯片设计图上面密密麻麻的标注透着严谨:“白同学久闻你的 3nm 光刻技术突破。
我们需要的这款军工芯片不仅要控制 2.8nm 线宽还得在边缘电路加抗干扰屏蔽层你们的光刻机在异形结构光刻上精度能达标吗?” 白梦瑶接过图纸看了一下视线落在屏蔽层标注处语速平稳却精准:“抗干扰屏蔽层可以用分步光刻 + 金属沉积工艺实现线宽误差我们能压到 2.5nm 以内不过需要你们提供芯片的三维电磁场模拟数据避免光刻时磁场干扰光源稳定性。
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